Multilagenzonenplatten für die Mikroskopie mit harter Röntgenstrahlung

 

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dc.contributor.author Eberl, Christian
dc.date.accessioned 2017-01-27T10:37:25Z
dc.date.available 2017-01-27T10:37:25Z
dc.date.issued 2016 de
dc.identifier.uri http://resolver.sub.uni-goettingen.de/purl?univerlag-isbn-978-3-86395-294-5
dc.format.extent 134 de
dc.format.medium Print de
dc.language.iso ger de
dc.relation.ispartofseries Göttingen Series in X-ray Physics de
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de
dc.subject.ddc 530 de
dc.title Multilagenzonenplatten für die Mikroskopie mit harter Röntgenstrahlung de
dc.type monograph de
dc.price.print 35,00
dc.identifier.urn urn:nbn:de:gbv:7-isbn-978-3-86395-294-5-5
dc.description.print Softcover, 17x24 de
dc.subject.division peerReviewed de
dc.subject.subjectheading Physik de
dc.relation.isbn-13 978-3-86395-294-5
dc.identifier.articlenumber 8101755 de
dc.identifier.intern isbn-978-3-86395-294-5 de
dc.bibliographicCitation.volume 21
dc.type.subtype thesis de
dc.subject.bisac SCI055000 de
dc.subject.vlb 640 de
dc.subject.bic PH de
dc.description.abstractger Vor allem für biologische Proben stellt die Röntgenmikroskopie eine erfolgreiche Untersuchungsmethodik dar, da sie die Analyse unverfälschter Präparate ermöglicht. Um jedoch auch von Vorzügen harter Röntgenstrahlung – kleineren Wellenlängen und größeren Eindringtiefen – auf diesem Gebiet zu profitieren, sind spezielle Optiken erforderlich. Multilagenzonenplatten (MZP), bestehend aus dünnen Schichten, stellen hierbei vielversprechende optische Elemente dar, sofern sie glatte und wohldefinierte Multilagen aufweisen. Durch die Kombination von gepulster Laserdeposition (PLD) und Focused Ion Beam (FIB) ist es gelungen, eine Herstellungsmethode zu etablieren, die genau dies leisten kann. Zusammen mit vorfokussierenden Optiken konnte mit einer solchen MZP mit weniger als 5 nm der weltweit kleinste Röntgenfokus mit harter Röntgenstrahlung generiert werden. Um diesen außerordentlich kleinen Strahl für mikroskopische Anwendungen gewinnbringend einzusetzen, waren Verbesserungen hinsichtlich MZP-Geometrie essentiell, wofür wiederum das tiefe Verständnis der zugrunde liegenden Prozesse (wie z.B. Targetveränderungen sowie Absputter- und Rückstreueffekte während der Herstellung) die notwendige Grundlage darstellten. Entsprechend wurden Analysen mit komplementären Methoden wie u.a. Röntgendiffraktometrie (XRD) und -reflektometrie (XRR), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) sowie SDTrimSP-Simulation durchgeführt. Dadurch konnten schließlich MZPs realisiert werden, die nachweislich mikroskopische Un- tersuchungen im Bereich von 50 nm ermöglichen und das Potenzial zu Auflösungen im sub-10 nm Bereich besitzen. de
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