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Multilagenzonenplatten für die Mikroskopie mit harter Röntgenstrahlung

dc.contributor.authorEberl, Christian
dc.date.accessioned2017-01-27T10:37:25Z
dc.date.available2017-01-27T10:37:25Z
dc.date.issued2016de
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.17875/gup2016-999
dc.format.extent134de
dc.format.mediumPrintde
dc.language.isogerde
dc.relation.ispartofseriesGöttingen Series in X-ray Physicsde
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de
dc.subject.ddc530de
dc.titleMultilagenzonenplatten für die Mikroskopie mit harter Röntgenstrahlungde
dc.typemonographde
dc.price.print35,00
dc.identifier.urnurn:nbn:de:gbv:7-isbn-978-3-86395-294-5-5
dc.description.printSoftcover, 17x24de
dc.subject.divisionpeerReviewedde
dc.subject.subjectheadingPhysikde
dc.relation.isbn-13978-3-86395-294-5
dc.identifier.articlenumber8101755de
dc.identifier.internisbn-978-3-86395-294-5de
dc.bibliographicCitation.volume21
dc.identifier.doi10.17875/gup2016-999
dc.type.subtypethesisde
dc.subject.bisacSCI055000de
dc.subject.vlb640de
dc.subject.bicPHde
dc.description.abstractgerVor allem für biologische Proben stellt die Röntgenmikroskopie eine erfolgreiche Untersuchungsmethodik dar, da sie die Analyse unverfälschter Präparate ermöglicht. Um jedoch auch von Vorzügen harter Röntgenstrahlung – kleineren Wellenlängen und größeren Eindringtiefen – auf diesem Gebiet zu profitieren, sind spezielle Optiken erforderlich. Multilagenzonenplatten (MZP), bestehend aus dünnen Schichten, stellen hierbei vielversprechende optische Elemente dar, sofern sie glatte und wohldefinierte Multilagen aufweisen. Durch die Kombination von gepulster Laserdeposition (PLD) und Focused Ion Beam (FIB) ist es gelungen, eine Herstellungsmethode zu etablieren, die genau dies leisten kann. Zusammen mit vorfokussierenden Optiken konnte mit einer solchen MZP mit weniger als 5 nm der weltweit kleinste Röntgenfokus mit harter Röntgenstrahlung generiert werden. Um diesen außerordentlich kleinen Strahl für mikroskopische Anwendungen gewinnbringend einzusetzen, waren Verbesserungen hinsichtlich MZP-Geometrie essentiell, wofür wiederum das tiefe Verständnis der zugrunde liegenden Prozesse (wie z.B. Targetveränderungen sowie Absputter- und Rückstreueffekte während der Herstellung) die notwendige Grundlage darstellten. Entsprechend wurden Analysen mit komplementären Methoden wie u.a. Röntgendiffraktometrie (XRD) und -reflektometrie (XRR), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) sowie SDTrimSP-Simulation durchgeführt. Dadurch konnten schließlich MZPs realisiert werden, die nachweislich mikroskopische Un- tersuchungen im Bereich von 50 nm ermöglichen und das Potenzial zu Auflösungen im sub-10 nm Bereich besitzen.de
dc.notes.vlb-printlieferbar


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